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Titel :
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DEU-Frankfurt - Deutschland Maschinen für die Wärmebehandlung von Stoffen Batch tool(s) for LPVCD- BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
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Dokument-Nr. ( ID / ND ) :
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2025120200442833576 / 797863-2025
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Veröffentlicht :
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02.12.2025
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Anforderung der Unterlagen bis :
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06.01.2026
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Angebotsabgabe bis :
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16.01.2026
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Dokumententyp :
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Ausschreibung
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Produkt-Codes :
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42940000 - Maschinen für die Wärmebehandlung von Stoffen
42942000 - Öfen und Zubehör
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DEU-Frankfurt: Deutschland Maschinen für die Wärmebehandlung von Stoffen
Batch tool(s) for LPVCD- BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
2025/S 232/2025 797863
Deutschland Maschinen für die Wärmebehandlung von Stoffen Batch tool(s) for LPVCD-
BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
OJ S 232/2025 02/12/2025
Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Lieferungen
1. Beschaffer
1.1. Beschaffer
Offizielle Bezeichnung: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
E-Mail: vergabestelle@ihp-microelectronics.com
Rechtsform des Erwerbers: Organisation, die einen durch einen öffentlichen Auftraggeber
subventionierten Auftrag vergibt
Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung
2. Verfahren
2.1. Verfahren
Titel: Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
Beschreibung: Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
Kennung des Verfahrens: 6ab1b6cb-f3a3-42d5-8359-4c810ea0942a
Interne Kennung: IHP-2025-060
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Das Verfahren wird beschleunigt: nein
2.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 42940000 Maschinen für die Wärmebehandlung von Stoffen
Zusätzliche Einstufung (cpv): 42942000 Öfen und Zubehör
2.1.2. Erfüllungsort
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Stadt: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land, Gliederung (NUTS): Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403)
Land: Deutschland
2.1.4. Allgemeine Informationen
Zusätzliche Informationen: #Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYTZJEV6GW# Project APECS
pilot line Equipment procurement Special conditions for the tender Checks, Audits, and
Investigations: The equipment is procured as part of the EU project APECS pilot line . The
EU Commission and/or the Chips Joint Undertaking (and/or other EU bodies), which is
responsible for financing and the contracting authority may carry out audits of the procurement
processes. To ensure that these conditions can be met, the following rules apply to suppliers
/contractors: - The contractor must keep all original documents on a suitable medium,
including digitized originals, for a period of five years from the date of payment of the final
invoice, if permit-ted by national law. - The contractor must grant the client s employees and
outside personnel authorized by the contracting authority the appropriate right of access to the
sites and premises where the contract is being performed and to all information, including
information in electronic form, that is necessary to carry out such checks and audits. The
contractor must ensure that the information is readily available at the time of the inspection or
audit and will be provided in an appropriate format upon request. - On the basis of the findings
made during the audit, a provisional report is drawn up. The contracting authority or its
authorised representative must send it to the contractor, who has 30 days following the date of
receipt to submit observations. The contractor must re-ceive the final report within 60 days
following the expiry of that deadline to submit obser-vations. - On the basis of the final audit
findings, the contracting authority may recover all or part of the payments made in accordance
with the relevant procedure and may take any other measure which it considers necessary. -
In accordance with Council Regulation (Euratom, EC) No 2185/96 of 11 November 1996 con-
cerning on-the-spot checks and inspection carried out by the Commission in order to pro-tect
the European Communities financial interests against fraud and other irregularities and
Regulation (EU, Euratom) No 883/2013 of the European Parliament and the Council of 11
September 2013 concerning investigation conducted by the European Anti-Fraud Office , the
European Anti-Fraud Office may carry out investigations, including on-the-spot checks and
inspections, to establish whether there has been fraud, corruption or any other illegal activity
under the contract affecting the financial interests of the Union. Findings arising from an
investigation may lead to criminal prosecution under national law. - The investigations may be
carried out at any moment during the provision of the services and up to five years starting
from the payment of the balance.
Rechtsgrundlage:
Richtlinie 2014/24/EU
vgv -
2.1.6. Ausschlussgründe
Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung
Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten
Verpflichtungen:
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung:
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten:
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung:
Betrug:
Korruption:
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels:
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern:
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen:
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen:
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen:
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen:
Zahlungsunfähigkeit:
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter:
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit:
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften:
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten:
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs:
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren:
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens:
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen:
Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen
Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten.:
5. Los
5.1. Los: LOT-0001
Titel: Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
Beschreibung: Batch tool(s) for LPVCD-BTBAS (Nitride-, Oxide- and Oxynitride-) processes
Interne Kennung: IHP-2025-060
5.1.1. Zweck
Art des Auftrags: Lieferungen
Haupteinstufung (cpv): 42940000 Maschinen für die Wärmebehandlung von Stoffen
Zusätzliche Einstufung (cpv): 42942000 Öfen und Zubehör
5.1.2. Erfüllungsort
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Stadt: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land, Gliederung (NUTS): Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403)
Land: Deutschland
5.1.3. Geschätzte Dauer
Andere Laufzeit: Unbekannt
5.1.6. Allgemeine Informationen
Vorbehaltene Teilnahme:
Teilnahme ist nicht vorbehalten.
Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten
Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich
Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert
Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: ja
Zusätzliche Informationen: #Besonders auch geeignet für:freelance#, #Besonders auch
geeignet für:selbst#, #Besonders auch geeignet für:startup#, #Besonders auch geeignet für:
other-sme#
5.1.7. Strategische Auftragsvergabe
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung
5.1.9. Eignungskriterien
Quellen der Auswahlkriterien: Bekanntmachung
Kriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung: Referenzen (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):
Kriterium: Eintragung in das Handelsregister
Beschreibung: Nachweis über die Eintragung in ein Handelsregister (Mit dem Angebot; Mittels
Eigenerklärung):
5.1.11. Auftragsunterlagen
Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 06/01/2026 23:59:59 (UTC+01:00)
Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de
/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYTZJEV6GW/documents
Ad-hoc-Kommunikationskanal:
URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYTZJEV6GW
5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe
Bedingungen für die Einreichung:
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Adresse für die Einreichung: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice
/CXSTYYDYTZJEV6GW
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch
Elektronischer Katalog: Nicht zulässig
Varianten: Nicht zulässig
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nicht zulässig
Beschreibung der finanziellen Sicherheit: Bank guarantee: A bank guarantee must be provided
for the amount of the first instalment. The bank guarantee may only expire after acceptance.
Frist für den Eingang der Angebote: 16/01/2026 12:00:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit,
Westeuropäische Sommerzeit
Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss: 46 Tage
Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können:
Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf
nachgereicht werden.
Zusätzliche Informationen: Der öffentliche Auftraggeber kann den Bewerber oder Bieter unter
Einhaltung der Grundsätze der Transparenz und der Gleichbehandlung auffordern, fehlende,
unvollständige oder fehlerhafte unternehmensbezogene Unterlagen, insbesondere
Eigenerklärungen, Angaben, Bescheinigungen oder sonstige Nachweise, nachzureichen, zu
vervollständigen oder zu korrigieren, oder fehlende oder unvollständige leistungsbezogene
Unterlagen nachzureichen oder zu vervollständigen. Der öffentliche Auftraggeber ist
berechtigt, in der Auftragsbekanntmachung oder den Vergabeunterlagen festzulegen, dass er
keine Unterlagen nachfordern wird. Die Nachforderung von leistungsbezogenen Unterlagen,
die die Wirtschaftlichkeitsbewertung der Angebote anhand der Zuschlagskriterien betreffen, ist
ausgeschlossen. Dies gilt nicht für Preisangaben, wenn es sich um unwesentliche
Einzelpositionen handelt, deren Einzelpreise den Gesamtpreis nicht verändern oder die
Wertungsreihenfolge und den Wettbewerb nicht beeinträchtigen. Die Unterlagen sind vom
Bewerber oder Bieter nach Aufforderung durch den öffentlichen Auftraggeber innerhalb einer
von diesem festzulegenden angemessenen, nach dem Kalender bestimmten Frist vorzulegen.
Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung:
Eröffnungsdatum: 16/01/2026 12:00:00 (UTC+01:00) Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische
Sommerzeit
Auftragsbedingungen:
Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte
Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein
Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: -
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Aufträge werden elektronisch erteilt: ja
Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja
Finanzielle Vereinbarung: Terms of payment: 1. Down payment on order: 30% 2. Down
payment on delivery: 40% Final payment after acceptance: 30% Tool acceptance and final
invoice/payment: The service/delivery is only complete upon acceptance. If provision has been
made for a trial run, acceptance shall be pronounced by a joint acceptance certificate following
a fault-free test run. The final instalment can be invoiced only after acceptance.
5.1.15. Techniken
Rahmenvereinbarung:
Keine Rahmenvereinbarung
Informationen über das dynamische Beschaffungssystem:
Kein dynamisches Beschaffungssystem
Elektronische Auktion: nein
5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung
Überprüfungsstelle: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft
und Europaangelegenheiten
Informationen über die Überprüfungsfristen: Verstöße gegen Vergabevorschriften, die
aufgrund der Bekanntmachung oder in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind
spätestens bis zum Ablauf der Frist der Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem
Auftraggeber zu rügen. Im Übrigen sind Verstöße gegen Vergabevorschriften innerhalb einer
Frist von 10 Kalendertagen nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. Ein
Nachprüfungsantrag ist innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des
Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der zuständigen Vergabekammer zu
stellen (§ 160 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)). Die o. a. Fristen gelten
nicht, wenn der Auftraggeber gemäß § 135 Absatz 1 Nr. 2 GWB den Auftrag ohne vorherige
Veröffentlichung einer Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union vergeben hat,
ohne dass dies aufgrund Gesetzes gestattet ist. Setzt sich ein Auftraggeber über die
Unwirksamkeit eines geschlossenen Vertrages hinweg, indem er die Informations und
Wartepflicht missachtet (§ 134 GWB) oder ohne vorherige Veröffentlichung einer
Bekanntmachung im Amtsblatt der Europäischen Union vergeben hat, ohne dass dies
aufgrund Gesetzes gestattet ist, kann die Unwirksamkeit nur festgestellt werden, wenn sie im
Nachprüfungsverfahren innerhalb von 30 Kalendertagen nach der Information der betroffenen
Bieter und Bewerber durch den öffentlichen Auftraggeber über den Abschluss des Vertrages,
jedoch nicht später als 6 Monate nach Vertragsschluss geltend gemacht worden ist. Hat der
Auftraggeber die Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union bekannt gemacht,
endet die Frist 30 Kalendertage nach Veröffentlichung der Auftragsvergabe im Amtsblatt der
Europäischen Union (§135 GWB).
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: IHP GmbH
- Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: IHP GmbH - Leibniz-Institut für
innovative Mikroelektronik
8. Organisationen
8.1. ORG-0001
Offizielle Bezeichnung: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Registrierungsnummer: DE138996546
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Stadt: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land, Gliederung (NUTS): Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403)
Land: Deutschland
Kontaktperson: Beschaffung
E-Mail: vergabestelle@ihp-microelectronics.com
Telefon: +49 335-5625337
Fax: +49 335-5625333
Rollen dieser Organisation:
Beschaffer
Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt
Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt
8.1. ORG-0002
Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für
Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Registrierungsnummer: t:0331866-1719
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Stadt: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land, Gliederung (NUTS): Potsdam, Kreisfreie Stadt (DE404)
Land: Deutschland
E-Mail: Vergabekammer@MWAE.brandenburg.de
Telefon: +49 331866-1719
Fax: +49 331866-1652
Internetadresse: https://mwae.brandenburg.de
Rollen dieser Organisation:
Überprüfungsstelle
8.1. ORG-0003
Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des
Beschaffungsamts des BMI)
Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83
Stadt: Bonn
Postleitzahl: 53119
Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22)
Land: Deutschland
E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de
Telefon: +49228996100
Rollen dieser Organisation:
TED eSender
Informationen zur Bekanntmachung
Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 09611150-26d5-44ac-8865-8a71c01e127e - 01
Formulartyp: Wettbewerb
Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung
Unterart der Bekanntmachung: 16
Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 01/12/2025 00:00:29 (UTC+01:00)
Mitteleuropäische Zeit, Westeuropäische Sommerzeit
Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch
ABl. S Nummer der Ausgabe: 232/2025
Datum der Veröffentlichung: 02/12/2025
Referenzen:
https://mwae.brandenburg.de
https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYTZJEV6GW
https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYTZJEV6GW/documents
http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202512/ausschreibung-797863-2025-DEU.txt
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