(1) Searching for "2019041809103854357" in Archived Documents Library (TED-ADL)

Ausschreibung: Mikroelektronische Maschinen und Geräte - DE-Aachen
Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Industrieprozesssteuerungsgeräte
Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
Vakuumöfen
Dokument Nr...: 182673-2019 (ID: 2019041809103854357)
Veröffentlicht: 18.04.2019
*
  DE-Aachen: Mikroelektronische Maschinen und Geräte
   2019/S 77/2019 182673
   Auftragsbekanntmachung
   Lieferauftrag
   Legal Basis:
   Richtlinie 2014/24/EU
   Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber
   I.1)Name und Adressen
   RWTH Aachen University
   Wüllnerstr. 5
   Aachen
   52062
   Deutschland
   Kontaktstelle(n): Abt. 7.3 Einkauf & Zollangelegenheiten
   Telefon: +49 2418094200
   E-Mail: [1]beschaffung@zhv.rwth-aachen.de
   Fax: +49 2418092251
   NUTS-Code: DEA2D
   Internet-Adresse(n):
   Hauptadresse: [2]http://www.rwth-aachen.de
   I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
   I.3)Kommunikation
   Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und
   vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter:
   [3]https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YD8YYE2/document
   s
   Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen
   Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via:
   [4]https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YD8YYE2
   I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
   Einrichtung des öffentlichen Rechts
   I.5)Haupttätigkeit(en)
   Bildung
   Abschnitt II: Gegenstand
   II.1)Umfang der Beschaffung
   II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
   115  Ätzanlagen Chlorchemie + Fluorchemie
   Referenznummer der Bekanntmachung: 10012648
   II.1.2)CPV-Code Hauptteil
   31712100
   II.1.3)Art des Auftrags
   Lieferauftrag
   II.1.4)Kurze Beschreibung:
   Ätzanlagen Chlorchemie CDPP_RIE + Fluorchemie CDPP_ICP_RIE.
   II.1.5)Geschätzter Gesamtwert
   II.1.6)Angaben zu den Losen
   Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
   II.2)Beschreibung
   II.2.1)Bezeichnung des Auftrags:
   II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s)
   38810000
   42900000
   42942200
   II.2.3)Erfüllungsort
   NUTS-Code: DEA2D
   Hauptort der Ausführung:
   52074 Aachen
   II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
   Bei der zu beschaffenden Anlage CDPP_RIE/ICP-RIE handelt es sich um
   eine Trockenätzanlage, die aus 2 Modulen (mit separaten Prozesskammern)
   besteht. Einem RIE-Modul (Reactive Ion Etching - RIE) mit einer
   Parallel-Platten Plasmakonfiguration und einem ICP-RIE-Modul
   (Inductively Coupled Plasma  ICP) mit einer induktiv gekoppelten
   Plasmaanregung. Das RIE-Modul wird sowohl mit einer Chlor, als auch
   einer Brom basierten Ätzchemie betrieben. Primäre Anwendung wird die
   Strukturierung von Metallisierungsebenen im Back-End-of-Line und die
   Strukturierung von Silizium-Wellenleitern in Silizium-PIC Technologie
   sein. Das ICP-RIE-Modul wird mit einer Fluor basierten Ätzchemie
   betrieben. Primäre Anwendung wird die Strukturierung von Dielektrika
   (SiO2 und SiN) im Back-End-of-Line, die Strukturierung von
   Silizium-Wellenleitern und die Herstellung tiefer Topografien (> 25 Müm
   Tiefe) im Silizium Substrat in Silizium-PIC Technologie sein.
   Die Module sind Through-The-Wall installiert, d. h., die
   Be-/Entladung erfolgt jeweils über eine separate Vakuumkammer, die vom
   ISO5-Reinraum des CDPP zugänglich ist, während die Hauptkonsole, die u.
   a. die Prozesskammer beinhaltet, im ISO7-Reinraum des CDPP installiert
   ist. Der Transfer zwischen diesen Kammern erfolgt automatisch.
   Ein besonderes Bewertungskriterium ist die zukünftige Erweiterbarkeit
   und die optionale Ausstattung der Anlage.
   II.2.5)Zuschlagskriterien
   Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind
   nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt
   II.2.6)Geschätzter Wert
   II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des
   dynamischen Beschaffungssystems
   Laufzeit in Monaten: 5
   Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein
   II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote
   Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein
   II.2.11)Angaben zu Optionen
   Optionen: nein
   II.2.12)Angaben zu elektronischen Katalogen
   II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
   Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
   das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
   II.2.14)Zusätzliche Angaben
   Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische
   Angaben
   III.1)Teilnahmebedingungen
   III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen
   hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister
   III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
   Eignungskriterien gemäß Auftragsunterlagen
   III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
   Eignungskriterien gemäß Auftragsunterlagen
   III.1.5)Angaben zu vorbehaltenen Aufträgen
   III.2)Bedingungen für den Auftrag
   III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags:
   III.2.3)Für die Ausführung des Auftrags verantwortliches Personal
   Abschnitt IV: Verfahren
   IV.1)Beschreibung
   IV.1.1)Verfahrensart
   Offenes Verfahren
   IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen
   Beschaffungssystem
   IV.1.4)Angaben zur Verringerung der Zahl der Wirtschaftsteilnehmer oder
   Lösungen im Laufe der Verhandlung bzw. des Dialogs
   IV.1.6)Angaben zur elektronischen Auktion
   IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
   Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja
   IV.2)Verwaltungsangaben
   IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren
   IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
   Tag: 24/05/2019
   Ortszeit: 12:00
   IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur
   Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber
   IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge
   eingereicht werden können:
   Deutsch
   IV.2.6)Bindefrist des Angebots
   Das Angebot muss gültig bleiben bis: 05/07/2019
   IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote
   Tag: 27/05/2019
   Ortszeit: 10:00
   Abschnitt VI: Weitere Angaben
   VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags
   Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein
   VI.2)Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen
   VI.3)Zusätzliche Angaben:
   Bekanntmachungs-ID: CXS0YD8YYE2
   VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
   VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
   Vergabekammer Rheinland
   Zeughaustr. 2-10
   Köln
   50606
   Deutschland
   Telefon: +49 221-1473116
   E-Mail: [5]vergabekammer@bez.reg-koeln.nrw.de
   Fax: +49 221-1472889
   Internet-Adresse:
   [6]http://www.bezreg-koeln.nrw.de/brk_internet/vergabekammer
   VI.4.2)Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren
   VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
   VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen
   erteilt
   VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
   15/04/2019
   [BUTTON] ×
Direktlinks
   HTML ____________________
   PDF ____________________
   PDFS ____________________
   XML ____________________
   [BUTTON] Schließen
References
   1. mailto:beschaffung@zhv.rwth-aachen.de?subject=TED
   2. http://www.rwth-aachen.de/
   3. https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YD8YYE2/documents
   4. https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YD8YYE2
   5. mailto:vergabekammer@bez.reg-koeln.nrw.de?subject=TED
   6. http://www.bezreg-koeln.nrw.de/brk_internet/vergabekammer
--------------------------------------------------------------------------------
             Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for:
       The Office for Official Publications of the European Communities
                The Federal Office of Foreign Trade Information
 Phone: +49 6082-910101, Fax: +49 6082-910200, URL: http://www.icc-hofmann.de