Ausschreibung: Deutschland Mikroelektronische Maschinen und Geräte 300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) -PR1254078-3460-P - DEU-München Mikroelektronische Maschinen und Geräte Dokument Nr...: 534141-2026 (ID: 2026080300524053886) Veröffentlicht: 03.08.2026 * DEU-München: Deutschland Mikroelektronische Maschinen und Geräte 300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) -PR1254078-3460-P 2026/S 147/2026 534141 Deutschland Mikroelektronische Maschinen und Geräte 300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) - PR1254078-3460-P OJ S 147/2026 03/08/2026 Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung Lieferleistungen 1. Beschaffer 1.1. Beschaffer Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung 2. Verfahren 2.1. Verfahren Titel: 300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) - PR1254078-3460-P Beschreibung: 300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) Kennung des Verfahrens: 4fc084d2-9890-4b66-8ba3-c7b0414f31dc Interne Kennung: PR1254078-3460-P Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren Das Verfahren wird beschleunigt: nein 2.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferleistungen Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte 2.1.2. Erfüllungsort Stadt: Dresden-Moritzburg Postleitzahl: 01468 Land, Gliederung (NUTS): Meißen (DED2E) Land: Deutschland Zusätzliche Informationen: Reinraum - tbd nach Zuschlagserteilung & Absprache mit FhI 2.1.4. Allgemeine Informationen Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU vgv - 2.1.6. Ausschlussgründe Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung, Auftragsunterlagen, Einheitliche Europäische Eigenerklärung (EEE) Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften: Korruption: Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung: Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs: Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen: Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung: Betrug: Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels: Zahlungsunfähigkeit: Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen: Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter: Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren: Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren: Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens: Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten: Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen: Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen: Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen: Einstellung der gewerblichen Tätigkeit: Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern: Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten: Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen: Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind. 5. Los 5.1. Los: LOT-0000 Titel: 300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) - PR1254078-3460-P Beschreibung: 1x 300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) Der Zweck dieser Gerätespezifikation besteht darin, die Anforderungen für das automatisierte D2W-Bonding zur heterogenen 2,5D-/3D-QMI- und Chiplet-Integration zu definieren, das eine Verbindung mit einer Genauigkeit von +/- 200 nm auf einem 300-mm-Wafer ermöglicht. Diese Anlage ist in der Lage, folgende Prozessschritte auszuführen: 1) Automatisches Be- und Entladen der gewünschten Wafer aus einer 12-Zoll-Tape-Frame-Kassette und von 12-Zoll-Wafern aus einem Wafer-FOUP; 2) Auslesen der Wafer- und Tape-Frame-ID; 3) Automatisches Zuführen von Wafern auf den Spannfutter und von Tape-Frames in die Bond-Einheit; 4) Aufnehmen von Dies (Bauteilen) aus dem Tape-Frame, optionales Wenden und präzises Bonden auf den Wafer oder das Die. Die Programmierung und Bedienung muss innerhalb eines angemessenen Bereichs von Optionen und Parametern möglich sein, wie es für Forschung und Entwicklung erforderlich ist. Detaillierte Spezifikationen der einzelnen Module finden Sie weiter unten. Interne Kennung: LOT-0000 5.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferleistungen Haupteinstufung (cpv): 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte 5.1.2. Erfüllungsort Stadt: Dresden-Moritzburg Postleitzahl: 01468 Land, Gliederung (NUTS): Meißen (DED2E) Land: Deutschland Zusätzliche Informationen: Reinraum - tbd nach Zuschlagserteilung & Absprache mit FhI 5.1.3. Geschätzte Dauer Laufzeit: 60 Tage 5.1.6. Allgemeine Informationen Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten. Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein 5.1.7. Strategische Auftragsvergabe Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung 5.1.9. Eignungskriterien Quellen der Eignungskriterien: Bekanntmachung, Auftragsunterlagen Kriterium: Referenzen zu bestimmten Arbeiten Beschreibung des Eignungskriteriums: Referenz von mindestens 10 Geräten / Projekten mit vergleichbarer technologi-scher Funktionalität im Hybridbond Be-reich nicht älter als 5 Jahre (Kurzbeschreibung Gerät, Pflichtangabe 300mm Wafergröße ja/nein, Kundennennung). Sollten Sie aus datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Kunden nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber) und be-stätigen Sie, dass Ihre Referenzen mit der ausgeschriebenen Leistung vergleichbar sind. xxx ACHTUNG xxx Sollten Sie aus datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürften, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftragsgeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftragsgeber) und bestätigen Sie, dass Ihre Referenzen mit der ausgeschriebenen Leistung vergleichbar sind. Kriterium: Durchschnittliche jährliche Belegschaft Beschreibung des Eignungskriteriums: Darstellung der Firma: Mindestangaben: Gründungsjahr, wichtige Meilensteine des Unternehmens, Anzahl der Mitarbeiter, was wird hergestellt / welche Leistungen werden erbracht -> Alle Angaben bitte in Textform; KEINE Links oder Bilder. Kriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen Beschreibung des Eignungskriteriums: 1. Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124 GWB 2. Eigenerklärung-Selfdeclaration (EU) Nr. 833/2014 Kriterium: Finanzkennzahlen Beschreibung des Eignungskriteriums: Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre. Hinweis: Dieses Kriterium ist NICHT das einzige Eignungskriterium. Die vollständigen Eignungskriterien finden Sie hier -> 2.1.4 Allgemeine Informationen Informationen über die zweite Phase eines zweiphasigen Verfahrens: Mindestzahl der zur zweiten Phase des Verfahrens einzuladenden Bewerber: 3 5.1.10. Zuschlagskriterien Kriterium: Art: Qualität Bezeichnung: Technische Ausführung Beschreibung: Technische Ausführung Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau) Zuschlagskriterium Zahl: 65 Kriterium: Art: Preis Bezeichnung: Preis Beschreibung: Bewertet wird der Gesamtpreis inkl. aller Nebenkosten über die Laufzeit Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau) Zuschlagskriterium Zahl: 35 5.1.11. Auftragsunterlagen Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer /TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-19facb36955- 72ae1a93cc2c3b07 5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe Verfahrensbedingungen: Voraussichtliches Datum der Absendung der Aufforderungen zur Angebotseinreichung: 02/10 /2026 Bedingungen für die Einreichung: Elektronische Einreichung: Zulässig Adresse für die Einreichung: https://vergabe.fraunhofer.de Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch Elektronischer Katalog: Nicht zulässig Varianten: Nicht zulässig Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Zulässig Frist für den Eingang der Teilnahmeanträge: 01/09/2026 08:00:00 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können: Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden. Zusätzliche Informationen: Siehe Vergabeunterlagen Auftragsbedingungen: Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter Ausschreibungsbedingungen aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen. Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig Aufträge werden elektronisch erteilt: nein Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein 5.1.15. Techniken Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem 5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes Informationen über die Überprüfungsfristen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB). Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer- Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 8. Organisationen 8.1. ORG-7001 Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Registrierungsnummer: DE 129515865 Postanschrift: Hansastraße 27c Stadt: München Postleitzahl: 80686 Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212) Land: Deutschland Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Telefon: +49891205-0 Internetadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/ Profil des Erwerbers: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ Rollen dieser Organisation: Beschaffer Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt 8.1. ORG-7004 Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes Registrierungsnummer: t:022894990 Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16 Stadt: Bonn Postleitzahl: 53113 Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22) Land: Deutschland E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de Telefon: +49 228 9499-0 Rollen dieser Organisation: Überprüfungsstelle 8.1. ORG-7005 Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. Registrierungsnummer: DE-129515865 Postanschrift: Hansastraße 27c Stadt: München Postleitzahl: 80686 Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212) Land: Deutschland E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Telefon: +49 89 1205-0 Internetadresse: https://www.fraunhofer.de Rollen dieser Organisation: Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt 8.1. ORG-7006 Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83 Stadt: Bonn Postleitzahl: 53119 Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22) Land: Deutschland E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de Telefon: +49228996100 Rollen dieser Organisation: TED eSender Informationen zur Bekanntmachung Kennung/Fassung der Bekanntmachung: dd34a80c-20d5-4122-816d-7f4d1dcb4e18 - 01 Formulartyp: Wettbewerb Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung Unterart der Bekanntmachung: 16 Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 31/07/2026 12:29:52 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch ABl. S Nummer der Ausgabe: 147/2026 Datum der Veröffentlichung: 03/08/2026 Referenzen: https://vergabe.fraunhofer.de https://vergabe.fraunhofer.de/ https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-19facb36955-72ae1a93c c2c3b07 https://www.fraunhofer.de http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202608/ausschreibung-534141-2026-DEU.txt -------------------------------------------------------------------------------- Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for: The Office for Official Publications of the European Communities The Federal Office of Foreign Trade Information Phone: +49 6082-910101, Fax: +49 6082-910200, URL: http://www.icc-hofmann.de