Ausschreibungen und Aufträge: Deutschland Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke ICP Trockenätzanlage Chlor IV (IAF-07b1) -PR1119209-2050-P - DEU-München Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke Dokument Nr...: 302687-2026 (ID: 2026050400592617612) Veröffentlicht: 04.05.2026 * DEU-München: Deutschland Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke ICP Trockenätzanlage Chlor IV (IAF-07b1) -PR1119209-2050-P 2026/S 85/2026 302687 Deutschland Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke ICP Trockenätzanlage Chlor IV (IAF-07b1) - PR1119209-2050-P OJ S 85/2026 04/05/2026 Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung Standardregelung Lieferleistungen 1. Beschaffer 1.1. Beschaffer Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung 2. Verfahren 2.1. Verfahren Titel: ICP Trockenätzanlage Chlor IV (IAF-07b1) - PR1119209-2050-P Beschreibung: ICP Trockenätzanlage Chlor IV (IAF-07b1) Kennung des Verfahrens: d811ca84-05f0-421d-8503-b63dc16d8d4c Interne Kennung: PR1119209-2050-P Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb 2.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferleistungen Haupteinstufung (cpv): 42900000 Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke 2.1.2. Erfüllungsort Postanschrift: Tullastr. 72 Stadt: Freiburg Postleitzahl: 79108 Land, Gliederung (NUTS): Baden-Baden, Stadtkreis (DE121) Land: Deutschland 2.1.4. Allgemeine Informationen Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU vgv - 5. Los 5.1. Los: LOT-0000 Titel: ICP Trockenätzanlage Chlor IV (IAF-07b1) - PR1119209-2050-P Beschreibung: 1 Stück Chlor ICP Chlor ICP Ätzanlage mit planarer Plasmaquelle Die am IAF zur Strukturierung entwickelten und qualifizierten Ätzprozesse müssen auf der neuen Anlage direkt weiterverwendet werden können und entsprechende Ätzergebnisse liefern, wie die aktuell eingesetzte Ätzanlage (Sentech ICP-RIE SI500 537).Diese bekannten Prozesse sollen auf die Wafergrößen von 150mm übertragbar sein. Optionen: Substratelektrode Möglichkeit Wafer mit 100mm-Durchmesser (Flat), sowie Bruchstücke auf Metall-Carriern zu Ätzen. Substratelektrode Möglichkeit Wafer mit 75mm-Durchmesser (Flat), sowie Bruchstücke auf Metall-Carriern zu Ätzen. Prozesskammer Beheizter Liner Service Garantierweiterung Ersatzteilkit Gasring Ersatzteilkit MVV-Messröhre Ersatzteilkit Schalldämpfer und Schutzhaube für Schleusenpumpe Ersatzteilkit Turbopumpe für Schleuse Ersatzteilkit Koppelplatte ohne Fenster Ersatzteilkit Clamping für 150 mm Wafer mit Notch Ersatzteilkit Umlaufkühler der Fa. Julabo als Ersatz Ersatzteilkit SPS Steuereinheit (CPU / RFC) Interne Kennung: LOT-0000 5.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferleistungen Haupteinstufung (cpv): 42900000 Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke 5.1.2. Erfüllungsort Postanschrift: Tullastr. 72 Stadt: Freiburg Postleitzahl: 79108 Land, Gliederung (NUTS): Baden-Baden, Stadtkreis (DE121) Land: Deutschland 5.1.3. Geschätzte Dauer Datum des Beginns: 30/11/2026 Enddatum der Laufzeit: 04/12/2026 5.1.6. Allgemeine Informationen Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja 5.1.7. Strategische Auftragsvergabe Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung 5.1.10. Zuschlagskriterien Kriterium: Art: Qualität Bezeichnung: Lieferzeit Beschreibung: Lieferzeit Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau) Zuschlagskriterium Zahl: 15 Kriterium: Art: Qualität Bezeichnung: Technik Beschreibung: Technik Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau) Zuschlagskriterium Zahl: 50 Kriterium: Art: Preis Bezeichnung: Preis Beschreibung: Preis Kategorie des Gewicht-Zuschlagskriteriums: Gewichtung (Prozentanteil, genau) Zuschlagskriterium Zahl: 35 5.1.15. Techniken Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem Elektronische Auktion: nein 5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer- Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 6. Ergebnisse Wert aller in dieser Bekanntmachung vergebenen Verträge: Nicht veröffentlicht Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse Direktvergabe : Begründung der Direktvergabe: Bedarf an zusätzlichen Bauleistungen oder Dienstleistungen durch den ursprünglichen Auftragnehmer Sonstige Begründung: Techniasche Alleinstellung 6.1. Ergebnis, Los- Kennung: LOT-0000 Status der Preisträgerauswahl: Es wurde mindestens ein Gewinner ermittelt. 6.1.2. Informationen über die Gewinner Wettbewerbsgewinner: Offizielle Bezeichnung: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH Angebot: Kennung des Angebots: TEN-0001 Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000 Wert der Ausschreibung: Nicht veröffentlicht Begründungscode: Sonstiges öffentliches Interesse Vergabe von Unteraufträgen: Nein Informationen zum Auftrag: Kennung des Auftrags: CON-0001 Datum des Vertragsabschlusses: 30/04/2026 6.1.4. Statistische Informationen Eingegangene Angebote oder Teilnahmeanträge: Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1 Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote auf elektronischem Wege eingereicht Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1 Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Kleinst-, kleinen oder mittleren Unternehmen Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1 Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bietern, die in anderen Ländern des Europäischen Wirtschaftsraums registriert sind als dem Land des Beschaffers Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 1 Art der eingegangenen Einreichungen: Angebote von Bieter aus Ländern außerhalb des Europäischen Wirtschaftsraums Anzahl der eingegangenen Angebote oder Teilnahmeanträge: 0 8. Organisationen 8.1. ORG-7001 Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Registrierungsnummer: DE 129515865 Postanschrift: Hansastraße 27c Stadt: München Postleitzahl: 80686 Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212) Land: Deutschland Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Telefon: +49891205-0 Internetadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/ Profil des Erwerbers: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ Rollen dieser Organisation: Beschaffer Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt 8.1. ORG-7004 Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes Registrierungsnummer: t:022894990 Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16 Stadt: Bonn Postleitzahl: 53113 Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22) Land: Deutschland E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de Telefon: +49 228 9499-0 Rollen dieser Organisation: Überprüfungsstelle 8.1. ORG-7005 Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. Registrierungsnummer: DE-129515865 Postanschrift: Hansastraße 27c Stadt: München Postleitzahl: 80686 Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212) Land: Deutschland E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Telefon: +49 89 1205-0 Internetadresse: https://www.fraunhofer.de Rollen dieser Organisation: Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt 8.1. ORG-0001 Offizielle Bezeichnung: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Kleines Unternehmen Registrierungsnummer: DE 128 244 113 Postanschrift: Konrad-Zuse-Bogen 13 Stadt: Krailling Postleitzahl: 82152 Land, Gliederung (NUTS): München, Landkreis (DE21H) Land: Deutschland Rollen dieser Organisation: Bieter Wirtschaftlicher Eigentümer: Gewinner dieser Lose: LOT-0000 8.1. ORG-7006 Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83 Stadt: Bonn Postleitzahl: 53119 Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22) Land: Deutschland E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de Telefon: +49228996100 Rollen dieser Organisation: TED eSender Informationen zur Bekanntmachung Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 610a4889-9f29-4a09-866f-c798fd83edd9 - 01 Formulartyp: Ergebnis Art der Bekanntmachung: Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung Standardregelung Unterart der Bekanntmachung: 29 Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 30/04/2026 10:36:14 (UTC+02:00) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch, Englisch ABl. S Nummer der Ausgabe: 85/2026 Datum der Veröffentlichung: 04/05/2026 Referenzen: https://vergabe.fraunhofer.de/ https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ https://www.fraunhofer.de http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202605/ausschreibung-302687-2026-DEU.txt -------------------------------------------------------------------------------- Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for: The Office for Official Publications of the European Communities The Federal Office of Foreign Trade Information Phone: +49 6082-910101, Fax: +49 6082-910200, URL: http://www.icc-hofmann.de