Ausschreibung: Belgien Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) BEOL ETCH PLATFORM - BEL-Heverlee Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) Dokument Nr...: 206978-2025 (ID: 2025040101223221766) Veröffentlicht: 01.04.2025 * BEL-Heverlee: Belgien Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) BEOL ETCH PLATFORM 2025/S 64/2025 206978 Belgien Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) BEOL ETCH PLATFORM OJ S 64/2025 01/04/2025 Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung - Änderungsbekanntmachung Lieferungen 1. Beschaffer 1.1. Beschaffer Offizielle Bezeichnung: Imec EU Pilot line NV E-Mail: tom.wauters@imec.be Rechtsform des Erwerbers: Zentrale Regierungsbehörde Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung 2. Verfahren 2.1. Verfahren Titel: BEOL etch platform Beschreibung: De aankoop van een toestel voor het verwijderen van fotoresistlagen bij hoge temperatuur ofwel een nieuwe BEOL Etch Cluster. 300mm Dry Etch/Strip Platform met 3 Procesmodules zoals hieronder beschreven: Metaal Dry Etcher geschikt voor metaal, metaaloxiden en diverse HM (Hard Mask) etses Diepe Si Etcher geschikt voor TSV (Through- Silicon Via) Dry Stripper of Asher met waterdamp passivatie mogelijkheid Deze procesmodules zijn gericht op verschillende BEOL-toepassingen van legacy- technologieknooppunten tot N3 en verder. Kennung des Verfahrens: 139628b8-0ccd-4ef5-b51e-fcc46917213a Interne Kennung: JPA2025ID20A Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren 2.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferungen Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 2.1.4. Allgemeine Informationen Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU 2.1.6. Ausschlussgründe Rein innerstaatliche Ausschlussgründe: 5. Los 5.1. Los: LOT-0001 Titel: JPA2025ID20 a - 1 Beschreibung: De aankoop van een toestel voor het verwijderen van fotoresistlagen bij hoge temperatuur ofwel een nieuwe BEOL Etch Cluster. 300mm Dry Etch/Strip Platform met 3 Procesmodules zoals hieronder beschreven: Metaal Dry Etcher geschikt voor metaal, metaaloxiden en diverse HM (Hard Mask) etses Diepe Si Etcher geschikt voor TSV (Through- Silicon Via) Dry Stripper of Asher met waterdamp passivatie mogelijkheid Deze procesmodules zijn gericht op verschillende BEOL-toepassingen van legacy- technologieknooppunten tot N3 en verder. Interne Kennung: 1 5.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferungen Haupteinstufung (cpv): 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 5.1.2. Erfüllungsort Land, Gliederung (NUTS): Arr. Leuven (BE242) Land: Belgien 5.1.3. Geschätzte Dauer Enddatum der Laufzeit: 31/12/2028 Andere Laufzeit: Unbekannt 5.1.6. Allgemeine Informationen Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten. Auftragsvergabeprojekt ganz oder teilweise aus EU-Mitteln finanziert Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja 5.1.9. Eignungskriterien Kriterium: Art: Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit Beschreibung: Economische en financiele draagkracht Kriterium: Art: Technische und berufliche Leistungsfähigkeit Beschreibung: Technische en beroepsbekwaamheid 5.1.10. Zuschlagskriterien Kriterium: Art: Kosten Beschreibung: Prijs 5.1.11. Auftragsunterlagen Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://www.publicprocurement.be/publication- workspaces/748b35bf-b972-4169-86f6-08f8c3d71e32/documents 5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe Bedingungen für die Einreichung: Elektronische Einreichung: Erforderlich Adresse für die Einreichung: https://www.publicprocurement.be/supplier/enterprises/0 /tendering-workspaces/publication-workspace-detail/748b35bf-b972-4169-86f6-08f8c3d71e32 /general Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch, Niederländisch Elektronischer Katalog: Nicht zulässig Fortgeschrittene oder qualifizierte elektronische Signatur oder Siegel (im Sinne der Verordnung (EU) Nr 910/2014) erforderlich Frist für den Eingang der Teilnahmeanträge: 08/04/2025 14:00:00 (UTC+2) Auftragsbedingungen: Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich Aufträge werden elektronisch erteilt: ja Zahlungen werden elektronisch geleistet: ja 5.1.15. Techniken Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem Elektronische Auktion: nein 5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung Überprüfungsstelle: Rechtbank van Eerste Aanleg Leuven TED eSender: FOD Beleid en Ondersteuning 8. Organisationen 8.1. ORG-0001 Offizielle Bezeichnung: Imec EU Pilot line NV Registrierungsnummer: 1004987603_21101 Postanschrift: Kapeldreef 75 Stadt: Heverlee Postleitzahl: 3001 Land, Gliederung (NUTS): Arr. Leuven (BE242) Land: Belgien E-Mail: tom.wauters@imec.be Telefon: +32 16287789 Rollen dieser Organisation: Beschaffer 8.1. ORG-0002 Offizielle Bezeichnung: FOD Beleid en Ondersteuning Registrierungsnummer: BE001 Postanschrift: Simon Bolivarlaan 30, bus 1 Stadt: Brussel Postleitzahl: 1000 Land, Gliederung (NUTS): Arr. de Bruxelles-Capitale/Arr. Brussel-Hoofdstad (BE100) Land: Belgien E-Mail: revise@publicprocurement.be Telefon: +32 2 740 80 00 Internetadresse: https://bosa.belgium.be Rollen dieser Organisation: TED eSender 8.1. ORG-0003 Offizielle Bezeichnung: Rechtbank van Eerste Aanleg Leuven Registrierungsnummer: 0308357753 Stadt: Leuven Postleitzahl: 3000 Land, Gliederung (NUTS): Arr. Leuven (BE242) Land: Belgien E-Mail: realeuven.burgerlijk@just.fgov.be Telefon: 016214066 Rollen dieser Organisation: Überprüfungsstelle 10. Änderung Fassung der zu ändernden vorigen Bekanntmachung: c9db787d-a331-4e1a-bb05- 351968109f71-01 Hauptgrund für die Änderung: Aktualisierte Informationen 10.1. Änderung Abschnittskennung: PROCEDURE Informationen zur Bekanntmachung Kennung/Fassung der Bekanntmachung: d20701b9-1a02-420e-bba6-8ab1777b674b - 01 Formulartyp: Wettbewerb Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung Unterart der Bekanntmachung: 16 Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 31/03/2025 00:00:00 (UTC+2) Bekanntmachung eSender-Übermittlungsdatum: 31/03/2025 00:00:00 (UTC+2) Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Niederländisch, Englisch ABl. S Nummer der Ausgabe: 64/2025 Datum der Veröffentlichung: 01/04/2025 Referenzen: https://bosa.belgium.be https://www.publicprocurement.be/publication-workspaces/748b35bf-b972-4169-86f6-08f8c3d71e32/documents https://www.publicprocurement.be/supplier/enterprises/0/tendering-workspaces/publication-workspace-detail/748b35bf-b972-4169-86f6-08 f8c3d71e32/general http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202504/ausschreibung-206978-2025-BEL.txt -------------------------------------------------------------------------------- Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for: The Office for Official Publications of the European Communities The Federal Office of Foreign Trade Information Phone: +49 6082-910101, Fax: +49 6082-910200, URL: http://www.icc-hofmann.de