Ausschreibung: Deutschland Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke Belacker -PR619491-2270- W - DEU-München Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke Dokument Nr...: 387246-2024 (ID: 2024070101182179385) Veröffentlicht: 01.07.2024 * DEU-München: Deutschland Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke Belacker -PR619491-2270- W 2024/S 126/2024 387246 Deutschland Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke Belacker - PR619491-2270- W OJ S 126/2024 01/07/2024 Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung - Änderungsbekanntmachung Lieferungen 1. Beschaffer 1.1. Beschaffer Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Allgemeine öffentliche Verwaltung 2. Verfahren 2.1. Verfahren Titel: Belacker - PR619491-2270-W Beschreibung: Belacker von Wafern mit Photo- und eBeam-Lacken Kennung des Verfahrens: aeb44476-b8a2-4a53-9af6-cc0ac370c925 Interne Kennung: PR619491-2270-W Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb /Verhandlungsverfahren Das Verfahren wird beschleunigt: nein 2.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferungen Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 2.1.2. Erfüllungsort Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212) Land: Deutschland 2.1.4. Allgemeine Informationen Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU vgv - 2.1.6. Ausschlussgründe Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften: --- Konkurs: --- Korruption: --- Vergleichsverfahren: --- Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung: --- Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs: --- Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen: --- Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung: --- Betrugsbekämpfung: --- Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels: --- Zahlungsunfähigkeit: --- Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen: --- Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter: --- Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten.: --- Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren: --- Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens: --- Schwere Verfehlung im Rahmen der beruflichen Tätigkeit: --- Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen: --- Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen: --- Zahlung der Sozialversicherungsbeiträge: --- Einstellung der gewerblichen Tätigkeit: --- Entrichtung von Steuern: --- Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten: --- Rein innerstaatliche Ausschlussgründe: --- 5. Los 5.1. Los: LOT-0000 Titel: Belacker - PR619491-2270-W Beschreibung: Eine automatisierte Forschungsanlage zum Belacken von Wafern mit Photo- und eBeam-Lacken auf Lösemittel- und Wasser-Basis, sowie zum Entwickeln dieser nach dem Belichten. 1.2 Option: 150 mm Wafer (Rund mit Semi-Flat). 1.3 Option: 100 mm Wafer (Rund mit Semi-Flat). 1.4 Option: 3 Wafer (Rund mit Semi-Flat). 1.5 Option: 2 Wafer (Rund mit Semi-Flat). 5.1 Option: Es müssen mindestens 50 150 mm-Wafer auf einmal in den Belacker geladen werden können. Dies muss mittels zwei Standard-Kassetten, in denen sich je bis zu 25 Wafer auf einmal befinden, geschehen. 5.2 Option: Es müssen mindestens 50 100 mm-Wafer auf einmal in den Belacker geladen werden können. Dies muss mittels zwei Standard-Kassetten, in denen sich je bis zu 25 Wafer auf einmal befinden, geschehen. 5.3 Option: Es müssen mindestens 50 3 -Wafer auf einmal in den Belacker geladen werden können. Dies muss mittels zwei Standard-Kassetten, in denen sich je bis zu 25 Wafer auf einmal befinden, geschehen. 5.4 Option: Es müssen mindestens 50 2 - Wafer auf einmal in den Belacker geladen werden können. Dies muss mittels zwei Standard-Kassetten, in denen sich je bis zu 25 Wafer auf einmal befinden, geschehen. 5.8.3 Option: Schichtdicken-Modul zum automatischen Vermessen der Lack-Schichtdicke im Bereich von 50 nm bis mind. 1000 nm. 5.8.10 Option: Ein weiteres Spincoating-Modul für lösemittelbasierte Lacke mit einer einstellbaren Randentlackung und einer Rückseitenentlackung, sowie der Möglichkeit den Lack vom Wafer wieder vollständig zu entfernen. Der Chuck muss im Bereich von 10 bis mind. 8000 UPM mit einer Beschleunigung von 10 bis mind. 20000 UPM/s drehbar sein. Die Absaugung muss programmbasiert während des Belackungsprozesses ein- und ausschaltbar sein. 5.9.2 Option: Max. 2 weitere Lacklinien für lösemittelbasierte Lacke ohne Reservoirs, für kleinere Flaschen <= 1l. Optional - Preis pro Lacklinie. 5.9.3 Option: Max. 3 weitere Lacklinien für lösemittelbasierte Lacke mit Förderpumpen und Reservoirs. Optional - Preis pro Lacklinie. 5.9.6 Option: Max. 1 weitere Lacklinie für wasserbasierte Lacke ohne Reservoir, für kleinere Flaschen <= 1l. Optional - Preis pro Lacklinie. 5.9.7 Option: Max. 1 weitere Lacklinie für wasserbasierte Lacke mit Förderpumpe und Reservoir. Optional - Preis pro Lacklinie. 5.9.10 Option: 1 weitere Entwicklerlinie für wasserbasierte Entwickler, die auch Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH) enthalten. 5.10.2 Option: 1 mal 2 weitere Wechseltanks für einen weiteren wasserbasierten Entwickler mit je mind. 3 l Fassungsvermögen. Dieser Entwickler wird TMAH enthalten und die Tanks dürfen davon nicht angeätzt werden. 5.10.3 Option: Der Satz Wechseltanks von Punkt 5.10.1 soll optional über eine Fassstation automatisiert befüllbar sein. Es kann sein, dass diese zum Zeitpunkt der Installation noch nicht vorliegt, dann soll diese Option soweit wie möglich vorgerüstet werden. 5.11 Option: Einen Anschluss inkl. Kabinett für einen kleineren auswechselbaren Kanister mit UN-Zulassung (30 l) zur Sammlung von Lösemittelabfällen. 8.1 Option: Ausgabe über eine SECS/GEM-Schnittstelle von allen verfügbaren Daten, wie z.B. Status, Prozessparameter, ausgeführtes Rezept und Logistikereignisse ( online.local / Engineering Mode ). Dieser Betrieb darf keinerlei zusätzliche Verriegelungen etc. gegenüber dem Betrieb ohne SECS /GEM-Schnittstelle erfordern/aktivieren. 8.2 Option: Die Bedienung soll (bis auf ortsgebundene Tätigkeiten, wie das Be- und Entladen) neben der Bedienung an der Anlage selbst auch von einem externen Arbeitsplatz erfolgen können. Interne Kennung: LOT-0000 5.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferungen Haupteinstufung (cpv): 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 5.1.2. Erfüllungsort Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212) Land: Deutschland 5.1.6. Allgemeine Informationen Vorbehaltene Teilnahme: Teilnahme ist nicht vorbehalten. Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: ja 5.1.7. Strategische Auftragsvergabe Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung 5.1.9. Eignungskriterien Kriterium: Art: Eignung zur Berufsausübung Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen Kriterium: Art: Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen Kriterium: Art: Technische und berufliche Leistungsfähigkeit Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen Kriterium: Art: Sonstiges Beschreibung: Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien (URL): https://vergabe.fraunhofer. de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-1902f819532-2e741239117bd910 Anhand der Kriterien werden die Bewerber ausgewählt, die zur zweiten Phase des Verfahrens eingeladen werden sollen 5.1.10. Zuschlagskriterien Kriterium: Art: Qualität Bezeichnung: Technische Ausführung Gewichtung (Prozentanteil, genau): 55 Kriterium: Art: Qualität Bezeichnung: Lieferzeit Gewichtung (Prozentanteil, genau): 10 Kriterium: Art: Preis Bezeichnung: Preis Gewichtung (Prozentanteil, genau): 35 5.1.11. Auftragsunterlagen Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch Internetadresse der Auftragsunterlagen: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer /TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-1902f819532- 2e741239117bd910& 5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe Bedingungen für die Einreichung: Elektronische Einreichung: Zulässig Adresse für die Einreichung: https://vergabe.fraunhofer.de Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch Elektronischer Katalog: Nicht zulässig Varianten: Nicht zulässig Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Zulässig Frist für den Eingang der Teilnahmeanträge: 29/07/2024 13:00:00 (UTC+2) Informationen, die nach Ablauf der Einreichungsfrist ergänzt werden können: Nach Ermessen des Käufers können alle fehlenden Bieterunterlagen nach Fristablauf nachgereicht werden. Zusätzliche Informationen: Siehe Vergabeunterlagen Auftragsbedingungen: Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich Aufträge werden elektronisch erteilt: nein Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein Informationen über die Überprüfungsfristen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB). 5.1.15. Techniken Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem 5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung Überprüfungsstelle: Vergabekammern des Bundes Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt: Fraunhofer- Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. TED eSender: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) 8. Organisationen 8.1. ORG-7001 Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 Registrierungsnummer: DE 129515865 Postanschrift: Hansastraße 27c Stadt: München Postleitzahl: 80686 Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212) Land: Deutschland Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Telefon: +49891205-0 Internetadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/ Profil des Erwerbers: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ Rollen dieser Organisation: Beschaffer Federführendes Mitglied Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt 8.1. ORG-7004 Offizielle Bezeichnung: Vergabekammern des Bundes Registrierungsnummer: t:022894990 Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16 Stadt: Bonn Postleitzahl: 53113 Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22) Land: Deutschland E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de Telefon: +49 228 9499-0 Rollen dieser Organisation: Überprüfungsstelle 8.1. ORG-7005 Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. Registrierungsnummer: DE 129515865 Postanschrift: Hansastraße 27c Stadt: München Postleitzahl: 80686 Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212) Land: Deutschland E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de Telefon: +49 89 1205-0 Internetadresse: https://www.fraunhofer.de Rollen dieser Organisation: Organisation, die weitere Informationen für die Nachprüfungsverfahren bereitstellt 8.1. ORG-7006 Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83 Stadt: Bonn Postleitzahl: 53119 Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22) Land: Deutschland E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de Telefon: +49228996100 Rollen dieser Organisation: TED eSender 10. Änderung Fassung der zu ändernden vorigen Bekanntmachung: fc438104-5105-4ecb-8e59- dd6e9791b939-01 Hauptgrund für die Änderung: Korrektur Veröffentlichung Beschreibung: Aktualisierung des LV s 11. Informationen zur Bekanntmachung 11.1. Informationen zur Bekanntmachung Kennung/Fassung der Bekanntmachung: 32f7c4e5-1ee2-4b1c-aae4-66659e536187 - 01 Formulartyp: Wettbewerb Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung Unterart der Bekanntmachung: 16 Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 28/06/2024 11:30:13 (UTC+2) Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch 11.2. Informationen zur Veröffentlichung ABl. S Nummer der Ausgabe: 126/2024 Datum der Veröffentlichung: 01/07/2024 Referenzen: https://vergabe.fraunhofer.de https://vergabe.fraunhofer.de/ https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-1902f819532-2e7412391 17bd910& https://www.fraunhofer.de http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202407/ausschreibung-387246-2024-DEU.txt -------------------------------------------------------------------------------- Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for: The Office for Official Publications of the European Communities The Federal Office of Foreign Trade Information Phone: +49 6082-910101, Fax: +49 6082-910200, URL: http://www.icc-hofmann.de