Ausschreibungen und Aufträge: Mikroelektronische Maschinen und Geräte - FR-Grenoble Mikroelektronische Maschinen und Geräte Dokument Nr...: 332249-2021 (ID: 2021070209212144285) Veröffentlicht: 02.07.2021 * FR-Grenoble: Mikroelektronische Maschinen und Geräte 2021/S 126/2021 332249 Bekanntmachung vergebener Aufträge Ergebnisse des Vergabeverfahrens Lieferauftrag Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber I.1)Name und Adressen Offizielle Bezeichnung: CEA Grenoble Postanschrift: 17 rue des Martyrs Ort: Grenoble NUTS-Code: FRK24 Isère Postleitzahl: 38054 Land: Frankreich Kontaktstelle(n): Zainab Magari E-Mail: [6]zainab.magari@cea.fr Telefon: +33 438781938 Internet-Adresse(n): Hauptadresse: [7]www.cea.fr Adresse des Beschafferprofils: [8]https://www.marches-publics.gouv.fr I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers Einrichtung des öffentlichen Rechts I.5)Haupttätigkeit(en) Andere Tätigkeit: Recherche Abschnitt II: Gegenstand II.1)Umfang der Beschaffung II.1.1)Bezeichnung des Auftrags: Fourniture d'un équipement de dépôt diélectrique 200 mm bâtiment 52C Referenznummer der Bekanntmachung: AOO-B21-03137-ZM II.1.2)CPV-Code Hauptteil 31712100 Mikroelektronische Maschinen und Geräte II.1.3)Art des Auftrags Lieferauftrag II.1.4)Kurze Beschreibung: Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt diélectrique ayant pour but de développer des films minces d'oxyde de silicium (à base de Silane et de TEOS), de nitrure de silicium, d'oxynitrure de silicium, de silicium amorphe et des empilements de ces films nécessaires à la production de puces de nouvelle technologie pour les micro- et nanotechnologies. L'équipement doit être entièrement automatique et compatible avec le traitement de plaquettes de 200 mm. L'unité centrale doit être un outil en grappe avec au moins trois chambres qui seront des réacteurs à plaquette unique. Pour cet outil, les matériaux diélectriques déposés par la technique PECVD seront utilisés principalement dans les intégrations back-end. II.1.6)Angaben zu den Losen Aufteilung des Auftrags in Lose: nein II.2)Beschreibung II.2.3)Erfüllungsort NUTS-Code: FRK24 Isère II.2.4)Beschreibung der Beschaffung: Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt diélectrique ayant pour but de développer des films minces d'oxyde de silicium (à base de SILANE et de TEOS), de nitrure de silicium, d'oxynitrure de silicium, de silicium amorphe et des empilements de ces films nécessaires à la production de puces de nouvelle technologie pour les micro- et nanotechnologies. L'équipement doit être entièrement automatique et compatible avec le traitement de plaquettes de 200 mm. L'unité centrale doit être un outil en grappe avec au moins trois chambres qui seront des réacteurs à plaquette unique. Pour cet outil, les matériaux diélectriques déposés par la technique PECVD seront utilisés principalement dans les intégrations back-end. II.2.5)Zuschlagskriterien Qualitätskriterium - Name: Configuration globale de léquipement / Gewichtung: 25 % Qualitätskriterium - Name: Performances des réacteurs et spécifications des couches minces déposées / Gewichtung: 20 % Qualitätskriterium - Name: Délais de fabrication et de livraison / Gewichtung: 5 % Preis - Gewichtung: 50 % II.2.11)Angaben zu Optionen Optionen: nein II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein II.2.14)Zusätzliche Angaben Abschnitt IV: Verfahren IV.1)Beschreibung IV.1.1)Verfahrensart Offenes Verfahren IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA) Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja IV.2)Verwaltungsangaben IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren Bekanntmachungsnummer im ABl.: [9]2021/S 103-270600 IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation Abschnitt V: Auftragsvergabe Bezeichnung des Auftrags: Fourniture d'un équipement de dépôt diélectrique 200 mm bâtiment 52C Ein Auftrag/Los wurde vergeben: nein V.1)Information über die Nichtvergabe Der Auftrag/Das Los wird nicht vergeben Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder es wurden alle abgelehnt Abschnitt VI: Weitere Angaben VI.3)Zusätzliche Angaben: Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par dautres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de lexpérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur [10]https://www.marchespublics.gouv.fr Modalités dobtention du dossier de consultation: pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur lURL suivante: [11]https://www.marches-publics.gouv.fr Les demandes de dossiers de consultation devront préciser la référence suivante: AOO-B21-03137-ZM. Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation. VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren Offizielle Bezeichnung: Tribunal administratif de Grenoble Postanschrift: 2 place de Verdun Ort: Grenoble Postleitzahl: 38000 Land: Frankreich E-Mail: [12]greffe.ta-grenoble@juradm.fr Telefon: +33 476429000 Fax: +33 476422269 Internet-Adresse: [13]http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt Offizielle Bezeichnung: Greffe tribunal administratif de Grenoble Postanschrift: 2 place de Verdun Ort: Grenoble Postleitzahl: 38000 Land: Frankreich E-Mail: [14]greffe.ta-grenoble@juradm.fr Telefon: +33 476429000 Internet-Adresse: [15]http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung: 29/06/2021 References 6. mailto:zainab.magari@cea.fr?subject=TED 7. http://www.cea.fr/ 8. https://www.marches-publics.gouv.fr/ 9. https://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:270600-2021:TEXT:DE:HTML 10. https://www.marchespublics.gouv.fr/ 11. https://www.marches-publics.gouv.fr/ 12. mailto:greffe.ta-grenoble@juradm.fr?subject=TED 13. http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ 14. mailto:greffe.ta-grenoble@juradm.fr?subject=TED 15. http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ OT: 02/07/2021 S126 France-Grenoble: Machines et appareils microélectroniques 2021/S 126-332249 Avis dattribution de marché Résultats de la procédure de marché Fournitures Base juridique: Directive 2014/24/UE Section I: Pouvoir adjudicateur I.1)Nom et adresses Nom officiel: CEA Grenoble Adresse postale: 17 rue des Martyrs Ville: Grenoble Code NUTS: FRK24 Isère Code postal: 38054 Pays: France Point(s) de contact: Zainab Magari Courriel: [6]zainab.magari@cea.fr Téléphone: +33 438781938 Adresse(s) internet: Adresse principale: [7]www.cea.fr Adresse du profil dacheteur: [8]https://www.marches-publics.gouv.fr I.4)Type de pouvoir adjudicateur Organisme de droit public I.5)Activité principale Autre activité: Recherche Section II: Objet II.1)Étendue du marché II.1.1)Intitulé: Fourniture d'un équipement de dépôt diélectrique 200 mm bâtiment 52C Numéro de référence: AOO-B21-03137-ZM II.1.2)Code CPV principal 31712100 Machines et appareils microélectroniques II.1.3)Type de marché Fournitures II.1.4)Description succincte: Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt diélectrique ayant pour but de développer des films minces d'oxyde de silicium (à base de Silane et de TEOS), de nitrure de silicium, d'oxynitrure de silicium, de silicium amorphe et des empilements de ces films nécessaires à la production de puces de nouvelle technologie pour les micro- et nanotechnologies. L'équipement doit être entièrement automatique et compatible avec le traitement de plaquettes de 200 mm. L'unité centrale doit être un outil en grappe avec au moins trois chambres qui seront des réacteurs à plaquette unique. Pour cet outil, les matériaux diélectriques déposés par la technique PECVD seront utilisés principalement dans les intégrations back-end. II.1.6)Information sur les lots Ce marché est divisé en lots: non II.2)Description II.2.3)Lieu d'exécution Code NUTS: FRK24 Isère II.2.4)Description des prestations: Le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt diélectrique ayant pour but de développer des films minces d'oxyde de silicium (à base de SILANE et de TEOS), de nitrure de silicium, d'oxynitrure de silicium, de silicium amorphe et des empilements de ces films nécessaires à la production de puces de nouvelle technologie pour les micro- et nanotechnologies. L'équipement doit être entièrement automatique et compatible avec le traitement de plaquettes de 200 mm. L'unité centrale doit être un outil en grappe avec au moins trois chambres qui seront des réacteurs à plaquette unique. Pour cet outil, les matériaux diélectriques déposés par la technique PECVD seront utilisés principalement dans les intégrations back-end. II.2.5)Critères dattribution Critère de qualité - Nom: Configuration globale de léquipement / Pondération: 25 % Critère de qualité - Nom: Performances des réacteurs et spécifications des couches minces déposées / Pondération: 20 % Critère de qualité - Nom: Délais de fabrication et de livraison / Pondération: 5 % Prix - Pondération: 50 % II.2.11)Information sur les options Options: non II.2.13)Information sur les fonds de l'Union européenne Le contrat s'inscrit dans un projet/programme financé par des fonds de l'Union européenne: non II.2.14)Informations complémentaires Section IV: Procédure IV.1)Description IV.1.1)Type de procédure Procédure ouverte IV.1.3)Information sur l'accord-cadre ou le système d'acquisition dynamique IV.1.8)Information concernant laccord sur les marchés publics (AMP) Le marché est couvert par l'accord sur les marchés publics: oui IV.2)Renseignements d'ordre administratif IV.2.1)Publication antérieure relative à la présente procédure Numéro de l'avis au JO série S: [9]2021/S 103-270600 IV.2.8)Informations sur l'abandon du système d'acquisition dynamique IV.2.9)Informations sur l'abandon de la procédure d'appel à la concurrence sous la forme d'un avis de préinformation Section V: Attribution du marché Intitulé: Fourniture d'un équipement de dépôt diélectrique 200 mm bâtiment 52C Un marché/lot est attribué: non V.1)Informations relatives à une non-attribution Le marché/lot n'a pas été attribué Aucune offre ou demande de participation n'a été reçue ou elles ont toutes été rejetées Section VI: Renseignements complémentaires VI.3)Informations complémentaires: Les entreprises nouvellement créées sont autorisées à présenter leur candidature. Si elles ne sont pas en mesure de produire certains des documents demandés dans le présent avis de marché, elles peuvent justifier de leurs capacités financières et professionnelles par dautres moyens que ceux indiqués dans le présent avis et notamment par la présentation de titres ou de lexpérience professionnelle du ou de leurs responsables. Le présent avis et/ou les documents de la consultation doivent être retirés sur [10]https://www.marchespublics.gouv.fr Modalités dobtention du dossier de consultation: pour obtenir le dossier de consultation des entreprises, le candidat devra le télécharger via la plateforme de dématérialisation des procédures de passation des marchés du CEA accessible sur lURL suivante: [11]https://www.marches-publics.gouv.fr Les demandes de dossiers de consultation devront préciser la référence suivante: AOO-B21-03137-ZM. Les modalités de dépôt des candidatures et des offres sont précisées dans le règlement de consultation. VI.4)Procédures de recours VI.4.1)Instance chargée des procédures de recours Nom officiel: Tribunal administratif de Grenoble Adresse postale: 2 place de Verdun Ville: Grenoble Code postal: 38000 Pays: France Courriel: [12]greffe.ta-grenoble@juradm.fr Téléphone: +33 476429000 Fax: +33 476422269 Adresse internet: [13]http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ VI.4.4)Service auprès duquel des renseignements peuvent être obtenus sur l'introduction de recours Nom officiel: Greffe tribunal administratif de Grenoble Adresse postale: 2 place de Verdun Ville: Grenoble Code postal: 38000 Pays: France Courriel: [14]greffe.ta-grenoble@juradm.fr Téléphone: +33 476429000 Adresse internet: [15]http://grenoble.tribunal-administratif.fr/ VI.5)Date denvoi du présent avis: 29/06/2021 -------------------------------------------------------------------------------- Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for: The Office for Official Publications of the European Communities The Federal Office of Foreign Trade Information Phone: +49 6082-910101, Fax: +49 6082-910200, URL: http://www.icc-hofmann.de