Ausschreibungen und Aufträge: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - DE-Cottbus Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) Dokument Nr...: 273443-2021 (ID: 2021060109063780473) Veröffentlicht: 01.06.2021 * DE-Cottbus: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 2021/S 104/2021 273443 Bekanntmachung vergebener Aufträge Ergebnisse des Vergabeverfahrens Lieferauftrag Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber I.1)Name und Adressen Offizielle Bezeichnung: BTU Cottbus-Senftenberg Postanschrift: Platz der Deutschen Einheit 1 Ort: Cottbus NUTS-Code: DE402 Cottbus, Kreisfreie Stadt Postleitzahl: 03046 Land: Deutschland Kontaktstelle(n): VB 2.3 Beschaffung E-Mail: [7]christin.markus@b-tu.de Internet-Adresse(n): Hauptadresse: [8]https://www.b-tu.de I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers Einrichtung des öffentlichen Rechts I.5)Haupttätigkeit(en) Bildung Abschnitt II: Gegenstand II.1)Umfang der Beschaffung II.1.1)Bezeichnung des Auftrags: Forschungslabor Mikroelektronik Cottbus Senftenberg für Siliziumbasierte Optoelektronik ForLab FAMOS Referenznummer der Bekanntmachung: F41_000341 II.1.2)CPV-Code Hauptteil 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) II.1.3)Art des Auftrags Lieferauftrag II.1.4)Kurze Beschreibung: Trockenätzsystem mit hochdichter Plasmaquelle und Vakuumschleuse, PECVD System mit Vakuumschleuse und rechnergestütztes Kontaktprofilometer Die Beschaffung von einem Trockenätzsystem mit hochdichter Plasmaquelle und Vakuumschleuse und PECVD System mit Vakuumschleuse dient der Herstellung von optoelektronischen Bauelementen, die auf Materialintegration (GeSn, SiGeSn, Oxide und 2D-Materialien) auf dem Grundmaterial Si basieren. Gesucht werden erprobte Systeme, da die Ätz- und Beschichtungsprozesse für Forschungszwecke benötigt werden und unmittelbar in Forschungsprojekten eingesetzt werden sollen. Das Trockenätzsystem mit hochdichter Plasmaquelle und Vakuumschleuse dient zur Übertragung lithografisch hochpräzise definierter Nanostrukturen in das darunterliegende Material. Hierzu ist der Einsatz der Ätzgase Cl2, HBr, CHF3, CF4, SF6, Ar, O2 geplant, zudem soll die Anlage die Möglichkeit zur Regulierung der Wafertemperatur über einen großen Temperaturbereich und die Möglichkeit zum Atomic Layer Etching für sehr gute Kontrolle der Ätztiefen, sehr glatte Oberflächen und hervorragende Uniformität bieten. Gesucht wird ein System, das insbesondere hinsichtlich der Strukturierung des Grundmaterials Si erprobt ist. Darüber hinaus soll diese Anlage durch die große Anzahl der Prozessgase für die Strukturierung unterschiedlicher Materialklassen ausgelegt sein. Ferner ist zur Oberflächenpassivierung bei optoelektronischen Bauelementen ein PECVD System mit Vakuumschleuse nötig, in dem Si-basierte Oxide (auf TEOS-Basis) und Nitrite sowie a-Si abgeschieden werden können. Die Anlage soll die Abscheidung von passivierenden Schichten speziell bei niedrigen Temperaturen ermöglichen. Zur Bestimmung der Ätztiefen ist ferner ein rechnergestützes Kontakprofilometer erforderlich. Gesucht wird ein erprobtes System zur rechnergestützten zwei- oder dreidimensionalen Vermessung mikroskopischer oder submikroskopischer Oberflächentopografien inklusive passivem Schwingungsdämpfungstisch zur reinraumgeeigneten Aufstellung. Los 1: Trockenätzsystem mit hochdichter Plasmaquelle und Vakuumschleuse, Los 2: PECVD System mit Vakuumschleuse, Los 3: Rechnergestütztes Kontaktprofilometer, Um Synergien der Anlagen zu nutzen und Aufwände, insbesondere Kosten, für Wartung zu reduzieren, werden LOS 1 und Los 2 nur zusammen vergeben. II.1.6)Angaben zu den Losen Aufteilung des Auftrags in Lose: ja II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.) Wert ohne MwSt.: 903 370.00 EUR II.2)Beschreibung II.2.1)Bezeichnung des Auftrags: Trockenätzanlage Los-Nr.: LOS 1 II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s) 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) II.2.3)Erfüllungsort NUTS-Code: DE40B Oberspreewald-Lausitz Hauptort der Ausführung: BTU Cottbus-Senftenberg Universitätsplatz 1 01968 Senftenberg Gebäude 14E, Campus Senftenberg II.2.4)Beschreibung der Beschaffung: Trockenätzanlage gemäß Leistungsbeschreibung. II.2.5)Zuschlagskriterien Qualitätskriterium - Name: Technisch-inhaltliche Anforderungen / Gewichtung: 60 Qualitätskriterium - Name: Service / Gewichtung: 10 Preis - Gewichtung: 30 II.2.11)Angaben zu Optionen Optionen: ja Beschreibung der Optionen: Gemäß Leistungsbeschreibung zu Los 1 II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein II.2.14)Zusätzliche Angaben Bei dem geschätzten Wert handelt es sich um den Netto-Wert. II.2)Beschreibung II.2.1)Bezeichnung des Auftrags: PECVD-Anlage Los-Nr.: LOS 2 II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s) 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) II.2.3)Erfüllungsort NUTS-Code: DE40B Oberspreewald-Lausitz Hauptort der Ausführung: BTU Cottbus-Senftenberg Universitätsplatz 1 01968 Senftenberg Gebäude 14E, Campus Senftenberg II.2.4)Beschreibung der Beschaffung: PECVD-Anlage gemäß Leistungsbeschreibung. II.2.5)Zuschlagskriterien Qualitätskriterium - Name: Technisch-inhaltliche Anforderungen / Gewichtung: 60 Qualitätskriterium - Name: Service / Gewichtung: 10 Preis - Gewichtung: 30 II.2.11)Angaben zu Optionen Optionen: ja Beschreibung der Optionen: Gemäß Leistungsbeschreibung zu Los 2 II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein II.2.14)Zusätzliche Angaben Bei dem geschätzten Wert handelt es sich um den Netto-Wert. II.2)Beschreibung II.2.1)Bezeichnung des Auftrags: Kontaktprofilometer Los-Nr.: LOS 3 II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s) 38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) II.2.3)Erfüllungsort NUTS-Code: DE40B Oberspreewald-Lausitz Hauptort der Ausführung: BTU Cottbus-Senftenberg Universitätsplatz 1 01968 Senftenberg Gebäude 14E, Campus Senftenberg II.2.4)Beschreibung der Beschaffung: Kontaktprofilometer gemäß Leistungsbeschreibung II.2.5)Zuschlagskriterien Qualitätskriterium - Name: Technisch-inhaltliche Anforderungen / Gewichtung: 60 Qualitätskriterium - Name: Service / Gewichtung: 10 Preis - Gewichtung: 30 II.2.11)Angaben zu Optionen Optionen: nein II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein II.2.14)Zusätzliche Angaben Bei dem geschätzten Wert handelt es sich um den Netto-Wert. Abschnitt IV: Verfahren IV.1)Beschreibung IV.1.1)Verfahrensart Offenes Verfahren IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA) Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja IV.2)Verwaltungsangaben IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren Bekanntmachungsnummer im ABl.: [9]2021/S 010-016704 IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation Abschnitt V: Auftragsvergabe Auftrags-Nr.: 21-1504-137-0084 Los-Nr.: 1 und 2 Bezeichnung des Auftrags: Trockenätzsystem und PECVD System Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja V.2)Auftragsvergabe V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses: 21/04/2021 V.2.2)Angaben zu den Angeboten Anzahl der eingegangenen Angebote: 1 Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0 Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0 Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0 Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 1 Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde Offizielle Bezeichnung: Oxford Instruments GmbH Postanschrift: Borsigstraße 15a Ort: Wiesbaden NUTS-Code: DE714 Wiesbaden, Kreisfreie Stadt Postleitzahl: 65205 Land: Deutschland Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.) Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: 850 000.00 EUR Gesamtwert des Auftrags/Loses: 850 000.00 EUR V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen Abschnitt V: Auftragsvergabe Auftrags-Nr.: 21-1504-137-0085 Los-Nr.: 3 Bezeichnung des Auftrags: Rechnergestütztes Kontaktprofilometer Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja V.2)Auftragsvergabe V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses: 03/05/2021 V.2.2)Angaben zu den Angeboten Anzahl der eingegangenen Angebote: 2 Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0 Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 1 Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0 Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 2 Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde Offizielle Bezeichnung: Schaefer Technologie GmbH Postanschrift: Robert-Bosch-Str. 31 Ort: Langen NUTS-Code: DE71C Offenbach, Landkreis Postleitzahl: 63225 Land: Deutschland Der Auftragnehmer ist ein KMU: nein V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.) Ursprünglich veranschlagter Gesamtwert des Auftrags/des Loses: 55 000.00 EUR Gesamtwert des Auftrags/Loses: 53 370.00 EUR V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen Abschnitt VI: Weitere Angaben VI.3)Zusätzliche Angaben: Bitte beachten Sie die Bewerbungsbedingungen eVergabe unter Vergabeunterlagen. Vorsorglich wird insbesondere auf Punkt 1, Nr. 1 der VOL/B mit dem Hinweis verwiesen, dass anderslautende Geschäfts-, Liefer-, oder Zahlungsbedingungen des Auftragnehmers nicht Bestandteil des Vertrages werden. Bekanntmachungs-ID: CXP9YY0R0B7. VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107 Ort: Potsdam Postleitzahl: 14473 Land: Deutschland Telefon: +49 3318661-610 Fax: +49 3318661-652 Internet-Adresse: [10]https://mwae.brandenburg.de/de/vergabekammer-nachpr%c3%bcfungsverfa hren/bb1.c.478846.de VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen: Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse am Auftrag hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Abs. 6 GWB durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. Der Antrag ist unzulässig, soweit: 1) der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht unverzüglich gerügt hat, 2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4) mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Der Antrag ist schriftlich bei der Vergabekammer einzureichen und unverzüglich zu begründen. VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung: 27/05/2021 References 7. mailto:christin.markus@b-tu.de?subject=TED 8. https://www.b-tu.de/ 9. https://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:016704-2021:TEXT:DE:HTML 10. https://mwae.brandenburg.de/de/vergabekammer-nachpr%c3%bcfungsverfahren/bb1.c.478846.de -------------------------------------------------------------------------------- Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for: The Office for Official Publications of the European Communities The Federal Office of Foreign Trade Information Phone: +49 6082-910101, Fax: +49 6082-910200, URL: http://www.icc-hofmann.de