Ausschreibung: Halbleiter - DE-München Halbleiter Dokument Nr...: 49183-2021 (ID: 2021020109055948229) Veröffentlicht: 01.02.2021 * DE-München: Halbleiter 2021/S 21/2021 49183 Auftragsbekanntmachung Lieferauftrag Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber I.1)Name und Adressen Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2 Postanschrift: Hansastraße 27 c Ort: München NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt Postleitzahl: 80686 Land: Deutschland Kontaktstelle(n): Einkauf IT, FM, Leasing, Beraterverträge E-Mail: [6]einkauf@zv.fraunhofer.de Internet-Adresse(n): Hauptadresse: [7]https://vergabe.fraunhofer.de/ I.3)Kommunikation Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: [8]https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/TenderingProcedureDetail s?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-17729db0518-791f4fcdccb8a7c4 Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via: [9]https://vergabe.fraunhofer.de I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers Andere: Forschung und Entwicklung I.5)Haupttätigkeit(en) Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung Abschnitt II: Gegenstand II.1)Umfang der Beschaffung II.1.1)Bezeichnung des Auftrags: FF-Automatisierung Referenznummer der Bekanntmachung: E_035_352818 II.1.2)CPV-Code Hauptteil 31712330 Halbleiter II.1.3)Art des Auftrags Lieferauftrag II.1.4)Kurze Beschreibung: E_035_352818 wit-KauAnj FF-Automatisierung. II.1.5)Geschätzter Gesamtwert II.1.6)Angaben zu den Losen Aufteilung des Auftrags in Lose: nein II.2)Beschreibung II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s) 31712330 Halbleiter II.2.3)Erfüllungsort NUTS-Code: DE131 Freiburg im Breisgau, Stadtkreis NUTS-Code: DE131 Freiburg im Breisgau, Stadtkreis Hauptort der Ausführung: ISE Solar-Info Center Emmy-Noether-Straße 2 79110 Freiburg II.2.4)Beschreibung der Beschaffung: 1 Stück. II.2.5)Zuschlagskriterien Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt II.2.6)Geschätzter Wert II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems Laufzeit in Monaten: 11 Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein II.2.11)Angaben zu Optionen Optionen: ja Beschreibung der Optionen: Farbe: Anzubieten ist die Anlage im Farbton RAL 7038 (grau) Backup-System: herstellerseitiges Backup-Verfahren: Angebot eines herstellerseitigen Backup-Verfahrens: Der Hersteller kann ein Backup-Verfahren aller PC-Systeme in der Anlage anbieten, sofern bereits herstellerseitig ein solches Verfahren existiert und etabliert ist. Damit kann Pos 12 ersetzt werden. MES-Schnittstelle: eingesetzter Standard: Es muss eine dem SEMI-Standard PV02 entsprechende SECS/GEM basierte Kommunikationsschnittstelle umgesetzt werden, die synchron und überwacht ist. Diese Schnittstelle ist dahingehend zu erweitern, dass die hier definierten spezifischen Anforderungen des Anlagenkonzepts für Anlagen mit automatisiertem Carrier Be- und Entladesystem bezüglich des virtuellen Materialtrackings erfüllt werden (vgl. Pos 49). Die Details hierzu sind mit dem Auftraggeber in einer gesonderten Spezifikation auszuarbeiten. Der Betrieb der Anlagen ohne MES/PV02-Schnittstelle muss weiterhin möglich sein (Standalone-Fall). MES-Schnittstelle: erforderliche Ergänzungen: Der Anlagenlieferant ergänzt die allgemeine PV02-Spezifikation seiner Anlage um die Details seiner Maschine. Virtuelles Wafertracking: Die Materialverfolgung über die gesamte Fertigung erfolgt wafergenau ohne explizite Waferidentifikation. Die Automatisierung muss dem Steuerungssystem der Anlage die Informationen zur Verfügung stellen, die benötigt werden, um nach der Prozessierung die Position der Wafer in den Beladeplätzen der Carrier errechnen zu können. Dies gilt auch für Carrier, die bei Beladung bereits Wafer enthielten. Diese Daten werden mit Hilfe eines Carriermap-Konzepts transferiert, welches wie folgt definiert ist: (A) Carrier werden an den Automatisierungen automatisch durch das Transpondersystem identifiziert. Dabei ist jeder Carrier auf Ober- und Unterseite mit einem Hex-Code identifiziert. Eine Hex-Code zu Klartextcode Übersetzungstabelle ist an der Anlage zu betreiben, um den Hex-Code vor der Anzeige an der Anlage in den Klartextcode zu überführen. (vergleiche Pos 45) (B) Carrierbelegungslisten werden daraufhin mit Informationen zur Waferbelegung des Carriers an die Anlage übermittelt. Sie stellen mittels SlotID und WaferID dar, in welchem Slot des Carriers sich welcher Wafer befindet. Ebenso können bei Bedarf waferspezifische Eigenschaften von Wafern übermittelt werden, falls diese von der Automatisierung, der Anlage oder deren Peripheriegeräten benötigt werden. Die benötigten Eigenschaften sind dem Auftraggeber vom Auftragnehmer im Angebot mitzuteilen. (C) Die Inhalte der Carrierbelegungsliste werden durch die Anlage ausgewertet und intern umgesetzt. D. h. aus den Angaben zu WaferIDs und Carrierpositionen der Carrierbelegungsliste muss die Anlage die interne Waferverfolgung realisieren, um schlussendlich nach Prozessende eine valide Carrierbelegungsliste für den/die beladenen Zielcarrier erstellen zu können. Die Anlage muss ebenfalls die übermittelten WaferIDs an interne Komponenten wie Messgeräte oder Prozesskammern weitergeben und somit die in der Anlage erfassten Daten den Wafern zuordnen. (D) Die Anlage erzeugt eine neue Carrierbelegungsliste nach Beendigung des Prozesses und Beladung des/der Zielcarrier. Die Erzeugung einer Carrierbelegungsliste nach Beendigung des Prozesses erfolgt konzeptgleich zur Carrierbelegungsliste zu Beginn des Prozesses. Die im Zielcarrier vorhandenen Wafer werden zusätzlich nach erfolgreich prozessierten und verloren gegangenen Wafern unterschieden und gekennzeichnet (GOOD, LOSS). Aktives Wafertracking: Ergänzend zu dem unter Pos 49 beschriebenen Konzept des virtuellen Wafertrackings, soll für alle Anlagen, an denen die Einzelwafer für die Prozessierung aus den Carriern entnommen werden, eine aktive Waferidentifikation als Option angeboten werden. Die aktive Waferidentifikation erfolgt dabei über einen auf die Waferoberfläche gelaserten Data Matrix Code (DMC), der gemäß den Vorgaben im SEMI-Standard SEMI PV29-0212 aufgebracht wird. Abweichend vom Standard kann sich der DMC an beliebiger Position auf der Waferoberfläche befinden. Das Lesesystem muss daher flexibel über dem Wafer positionierbar sein. Die WaferID kann bis zu 20 Stellen haben. Um den DMC auslesen zu können, muss in der Anlage an der Eingabeseite (idealerweise unmittelbar nach dem Beladesystem) eine DMC-Lesegerät integriert werden (siehe Pos 51). Die ausgelesenen WaferIDs müssen ins maschineninterne Materialtracking integriert werden und ggf. an Peripheriegeräte weitergegeben werden. Vor Prozessstart kann an der Anlage durch den Bediener zwischen dem virtuellen Wafertracking (Pos 49) und dem aktiven Wafertracking gewählt werden. Kann ein Code nicht gelesen werden, stoppt die Anlage, wenn dies prozesstechnisch möglich ist und der Bediener erhält folgende Auswahlmöglichkeiten: Wiederholung der Lesung, Manuelle Eingabe der WaferID, Automatische Erzeugung einer WaferID durch die Anlage. II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein II.2.14)Zusätzliche Angaben Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben III.1)Teilnahmebedingungen III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen: Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) [10]https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321 -Tender-17729db0518-791f4fcdccb8a7c4 III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien: Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) [11]https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321 -Tender-17729db0518-791f4fcdccb8a7c4 III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien: Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) [12]https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321 -Tender-17729db0518-791f4fcdccb8a7c4 III.2)Bedingungen für den Auftrag III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen. Abschnitt IV: Verfahren IV.1)Beschreibung IV.1.1)Verfahrensart Verhandlungsverfahren IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem IV.1.5)Angaben zur Verhandlung IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA) Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja IV.2)Verwaltungsangaben IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge Tag: 01/03/2021 Ortszeit: 10:00 IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch IV.2.6)Bindefrist des Angebots Das Angebot muss gültig bleiben bis: 21/06/2021 Abschnitt VI: Weitere Angaben VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein VI.3)Zusätzliche Angaben: VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Postanschrift: Villemombler Straße 76 Ort: Bonn Postleitzahl: 53123 Land: Deutschland VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB). VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. Postanschrift: Hansastraße 27c Ort: München Postleitzahl: 80686 Land: Deutschland E-Mail: [13]einkauf@zv.fraunhofer.de Internet-Adresse: [14]https://www.fraunhofer.de VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung: 27/01/2021 References 6. mailto:einkauf@zv.fraunhofer.de?subject=TED 7. https://vergabe.fraunhofer.de/ 8. https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-17729db0518-791 f4fcdccb8a7c4 9. https://vergabe.fraunhofer.de/ 10. https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-17729db0518-791f4fcdccb8a7c4 11. https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-17729db0518-791f4fcdccb8a7c4 12. https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-17729db0518-791f4fcdccb8a7c4 13. mailto:einkauf@zv.fraunhofer.de?subject=TED 14. https://www.fraunhofer.de/ -------------------------------------------------------------------------------- Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for: The Office for Official Publications of the European Communities The Federal Office of Foreign Trade Information Phone: +49 6082-910101, Fax: +49 6082-910200, URL: http://www.icc-hofmann.de