Ausschreibung: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - DE-München Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke Dokument Nr...: 49163-2021 (ID: 2021020109055448211) Veröffentlicht: 01.02.2021 * DE-München: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 2021/S 21/2021 49163 Auftragsbekanntmachung Lieferauftrag Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber I.1)Name und Adressen Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2 Postanschrift: Hansastraße 27 c Ort: München NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt Postleitzahl: 80686 Land: Deutschland E-Mail: [6]einkauf@zv.fraunhofer.de Internet-Adresse(n): Hauptadresse: [7]https://vergabe.fraunhofer.de/ I.3)Kommunikation Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter: [8]https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/TenderingProcedureDetail s?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-177252f25e3-78d501c9c6244f5a Weitere Auskünfte erteilen/erteilt die oben genannten Kontaktstellen Angebote oder Teilnahmeanträge sind einzureichen elektronisch via: [9]https://vergabe.fraunhofer.de I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers Andere: Forschung und Entwicklung I.5)Haupttätigkeit(en) Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung Abschnitt II: Gegenstand II.1)Umfang der Beschaffung II.1.1)Bezeichnung des Auftrags: E_064_287097 StLa-KauAnj Beschichtungsanlage Referenznummer der Bekanntmachung: E_064_287097 II.1.2)CPV-Code Hauptteil 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke II.1.3)Art des Auftrags Lieferauftrag II.1.4)Kurze Beschreibung: Beschichtungsanlage. II.1.5)Geschätzter Gesamtwert II.1.6)Angaben zu den Losen Aufteilung des Auftrags in Lose: nein II.2)Beschreibung II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s) 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke II.2.3)Erfüllungsort NUTS-Code: DED21 Dresden, Kreisfreie Stadt NUTS-Code: DED2 Dresden Hauptort der Ausführung: Fraunhofer IKTS Winterbergstraße 28 1277 Dresden II.2.4)Beschreibung der Beschaffung: 1 Stück Beschichtungsanlage Wir konzentrieren uns bei unserer Suche auf ein gutes ISO9001-zertifiziertes 200-mm-System, das in der Lage ist, Al2O3-, SiO2-, High-k- und Metallnitride gemäß PEALD gemäß diesem Dokument abzuscheiden. Wir erwarten ein PEALD-Kit für das System, das eine schnelle Gasumschaltung ermöglicht. Es ist auch wichtig, dass die Ausgasung von Kammerwänden während der Verarbeitung im PEALD-Modus minimiert wird. Deshalb spezifizieren wir einen Heißwandreaktor mit Wandtemperaturen von bis zu 450 ^o C. Wir möchten die Probentemperatur in einem weiten Temperaturbereich steuern (von Raumtemperatur bis zu erhöhten Temperaturen, Temperaturbereich von 30 ^o C bis +450 ^o C). Wir legen Wert auf Kammerreinheit, um die Prozessstabilität und Reproduzierbarkeit zu erreichen. Dazu betrachten wir einen Heißwandreaktor und eine effiziente Kammerreinigung. Wir erwarten eine ladbare Wafergröße von mindestens 200 mm. Wir betrachten die folgenden Gase: Ar, N2, O2, O3, H2, NH3. Eine Option für die In-situ-Ellipsometrie (hierfür benötigen wir 2 gekippte optische Ports) ist erforderlich. Wir benötigen eine halbautomatische Lastsperre im System mit manueller Beladung der Wafer mit einer Vakuumzange. Das Werkzeug wird im Reinraum des Fraunhofer IKTS in Dresden (Winterbergstraße 28) installiert und erleichtert. II.2.5)Zuschlagskriterien Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind nur in den Beschaffungsunterlagen aufgeführt II.2.6)Geschätzter Wert II.2.7)Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems Laufzeit in Monaten: 9 Dieser Auftrag kann verlängert werden: nein II.2.10)Angaben über Varianten/Alternativangebote Varianten/Alternativangebote sind zulässig: nein II.2.11)Angaben zu Optionen Optionen: nein II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja Projektnummer oder -referenz: EFRE II.2.14)Zusätzliche Angaben Abschnitt III: Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Angaben III.1)Teilnahmebedingungen III.1.1)Befähigung zur Berufsausübung einschließlich Auflagen hinsichtlich der Eintragung in einem Berufs- oder Handelsregister Auflistung und kurze Beschreibung der Bedingungen: Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) [10]https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321 -Tender-177252f25e3-78d501c9c6244f5a III.1.2)Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien: Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) [11]https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321 -Tender-177252f25e3-78d501c9c6244f5a III.1.3)Technische und berufliche Leistungsfähigkeit Auflistung und kurze Beschreibung der Eignungskriterien: Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) [12]https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321 -Tender-177252f25e3-78d501c9c6244f5a III.2)Bedingungen für den Auftrag III.2.2)Bedingungen für die Ausführung des Auftrags: Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen. Abschnitt IV: Verfahren IV.1)Beschreibung IV.1.1)Verfahrensart Offenes Verfahren IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA) Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja IV.2)Verwaltungsangaben IV.2.2)Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge Tag: 26/02/2021 Ortszeit: 11:00 IV.2.3)Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber IV.2.4)Sprache(n), in der (denen) Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch, Englisch IV.2.6)Bindefrist des Angebots Das Angebot muss gültig bleiben bis: 26/04/2021 IV.2.7)Bedingungen für die Öffnung der Angebote Tag: 26/02/2021 Ortszeit: 11:00 Angaben über befugte Personen und das Öffnungsverfahren: Entfällt Abschnitt VI: Weitere Angaben VI.1)Angaben zur Wiederkehr des Auftrags Dies ist ein wiederkehrender Auftrag: nein VI.3)Zusätzliche Angaben: VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Postanschrift: Villemombler Straße 76 Ort: Bonn Postleitzahl: 53123 Land: Deutschland VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen: Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB). VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Postanschrift: Hansastraße 27c Ort: München Postleitzahl: 80686 Land: Deutschland E-Mail: [13]einkauf@zv.fraunhofer.de Internet-Adresse: [14]https://www.fraunhofer.de VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung: 27/01/2021 References 6. mailto:einkauf@zv.fraunhofer.de?subject=TED 7. https://vergabe.fraunhofer.de/ 8. https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-177252f25e3-78d 501c9c6244f5a 9. https://vergabe.fraunhofer.de/ 10. https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-177252f25e3-78d501c9c6244f5a 11. https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-177252f25e3-78d501c9c6244f5a 12. https://frh-vp-prod.ai-hosting.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-177252f25e3-78d501c9c6244f5a 13. mailto:einkauf@zv.fraunhofer.de?subject=TED 14. https://www.fraunhofer.de/ -------------------------------------------------------------------------------- Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for: The Office for Official Publications of the European Communities The Federal Office of Foreign Trade Information Phone: +49 6082-910101, Fax: +49 6082-910200, URL: http://www.icc-hofmann.de