Ausschreibung: RF Generator 13,56 MHz 3000W - DE-Frankfurt (Oder)
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Dokument Nr...: 849582-2017 (ID: 2017051508500812817)
Veröffentlicht: 15.05.2017
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  RF Generator 13,56 MHz 3000W
Vergabe: IHP-2017-039 11.05.2017
CSX 21 - Bekanntmachung Seite 1/4
11.05.2017 16:03 Uhr - VMS 7.1.0.1  2009 - 2017 cosinex GmbH
Bekanntmachung VOL/A: RF Generator 13,56 MHz 3000W
Vergabenummer IHP-2017-039
Bezeichnung RF Generator 13,56 MHz 3000W
Art der Vergabe Öffentliche Ausschreibung
Vergabe- und
Vertragsordnung
VOL/A
Art des Auftrags Lieferleistung
Auftraggeber
Adresse der zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle
Bezeichnung IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Kontaktstelle Beschaffung
Postanschrift Im Technologiepark 25
Ort 15236 Frankfurt (Oder)
Telefon +49 335-5625-359
Fax +49 335-5625-25359
E-Mail rohner@ihp-microelectronics.com
Adresse der den Zuschlag erteilenden Stelle
Siehe "zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle"
Stelle, bei der die Angebote einzureichen sind
Siehe "zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle"
Stelle, die die Vergabeunterlagen abgibt oder bei der sie eingesehen werden können
Siehe "zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle"
Allgemeine Fach- und Rechtsaufsicht
Bezeichnung IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Kontaktstelle Beschaffung
Postanschrift Im Technologiepark 25
Ort 15236 Frankfurt (Oder)
Telefon +49 335-5625-359
Fax +49 335-5625-25359
E-Mail rohner@ihp-microelectronics.com
Auftragsgegenstand
Leistungsbeschreibung
Art und Umfang der Leistung RF Generator 13,56 MHz 3000W for Applied Materials Chamber (evaluated on DPS
Poly, DPS Metal, Super-e, eMAX, MxP, PreClean, WxZ and IMP)
Feature Specification
Output power range: 1 W .. 3000 W
Max. continuous reflected power: 600 W
Output frequency: 13.56 MHz +/- 0.005 %
Output impedance: 50 W
Pulse mode: 10 Hz to 50 kHz, int. and ext. source
Mains: 200/208 VAC +/- 10%, 3 phase and PE
Overall efficiency at full rated power into: 50 W > 80%
Interfaces: Analog (AMAT Centura and Endura)
Power Accuracy into 50 Ohm: +/- 1 W or +/- 1% *
Fluctuation into 50 Ohm: +/- 1W
Power repeatability same generator: +/- 1 W or +/- 2 % *
Vergabe: IHP-2017-039 11.05.2017
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Power repeatability generator-to-generator: 2 W or 2 %
* of set value, whichever is greater
Size (W x H x D): Half 19", 3 HU : 216 mm x 133 mm x 381 mm
Operation ambient temperature: 10GradC .. 40GradC
Regulation modes: forward power and load power leveling
Power Amplifier: class D converter
Evaluation on Applied Materials Chamber Types DPS Poly, DPS Metal, Super-e,
eMAX, MxP, PreClean, WxZ and IMP mandatory
Adapter kits (RF, Water, AC and Tool Interface) for these Chambers
Installation support must be included
Leistungsorte
Hauptleistungsort
Bezeichnung IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift Im Technologiepark 25
Ort 15236 Frankfurt (Oder)
Ausführungsfristen
Dauer (ab Auftragsvergabe) 1 Monat(e)
Fristen
Bezeichnung Datum, ggf. Uhrzeit
Anforderung der Vergabeunterlagen bis 08.06.2017
Frist zur Einreichung von Aufklärungsfragen (u.a.) 08.06.2017
Angebotsfrist 09.06.2017 12:00 Uhr
Zuschlags-/Bindefrist 29.06.2017
Wertung
Wertungsmethode der Vergabe
Wertungsmethode Niedrigster Preis
Lose
Etwaige Vorbehalte wegen Teilung in Lose, Umfang der Lose und mögliche Vergabe der
Lose an verschiedene Bieter
Die Vergabe ist nicht in Lose aufgeteilt.
Nachweise / Bedingungen
Auflagen zur persönlichen Lage
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Angaben und Formalitäten,
die erforderlich sind,
um die Einhaltung der
Auflagen zur wirtschaftlichen
und finanziellen
Leistungsfähigkeit zu
überprüfen
-Bescheinigung in Steuersachen
Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen
Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.
Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Angaben und Formalitäten,
die erforderlich sind,
um die Einhaltung der
Referenzen:
Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur
ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt
Vergabe: IHP-2017-039 11.05.2017
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11.05.2017 16:03 Uhr - VMS 7.1.0.1  2009 - 2017 cosinex GmbH
Auflagen zur technischen
Leistungsfähigkeit zu
überprüfen
Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.
Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den
folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:
-Referenzgeber:
-Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer:
-Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung:
-Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs:
Vorbehaltene Aufträge
Sind die Aufträge
vorbehalten?
Nein
Vom Unternehmen einzureichende Unterlagen
Mit dem Angebot vorzulegende Unterlagen
Sonstige Unterlagen
 Tariftreue (mittels Eigenerklärung vorzulegen)
 Frauenförderung (mittels Eigenerklärung vorzulegen)
 Eigenerklärung ILO (mittels Eigenerklärung vorzulegen)
Vergabeunterlagen
Bereitstellung der Vergabeunterlagen
Postalischer Versand Nein
Elektronisch Ja, mittels Vergabemarktplatz "VMP Brandenburg"
Angaben zu Preis und Zahlungsbedingungen
Die Unterlagen sind
kostenpflichtig
Nein
Angebote
Bedingungen für die Öffnung der Angebote
Beginn der Angebotsöffnung 09.06.2017
Ort Frankfurt (Oder)
Angebotsabgabe
Art der akzeptierten
Angebote
Postalischer Versand
Nebenangebote
Nebenangebote werden nicht zugelassen.
Verfahren/Sonstiges
Angaben zum Verfahren
Sonstige Informationen für
Bieter/Bewerber
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg
http://vergabemarktplatz.brandenburg.de
Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz
Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.
Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den
Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren
informiert werden.
Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie
müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich
geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet
haben.
Vergabe: IHP-2017-039 11.05.2017
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11.05.2017 16:03 Uhr - VMS 7.1.0.1  2009 - 2017 cosinex GmbH
Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für
das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig
- für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer
Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist.
Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht
werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden.
Bekanntmachungs-ID CXSTYYDYYFM
Source: 4 http://www.bund.de/IMPORTE/Ausschreibungen/vmp-bb/2017/05/57849.html
Data Acquisition via: p8000000
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             Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for:
       The Office for Official Publications of the European Communities
                The Federal Office of Foreign Trade Information
 Phone: +49 6082-910101, Fax: +49 6082-910200, URL: http://www.icc-hofmann.de